大口徑高溫高壓芯片退火管式爐設(shè)備用于較大尺寸（尺寸為8英寸）襯底退火處理，設(shè)備采用電阻絲為加熱元件，保溫材料為氧化鋁纖維爐膛真空吸附成型，電阻絲為內(nèi)嵌式一體成型；該設(shè)備還集成了真空以及供氣系統(tǒng)。