概述羅茨真空泵的是在較低的入口壓力時具有較高的抽氣速率，但它不能單獨(dú)使用，必須有一臺前級真空泵串聯(lián)，待被抽系統(tǒng)中的壓力被前級真空泵抽到羅茨真空泵允許入口壓力時，羅茨真空泵才能開始工作，并且在一般情況下