軟X射線分析譜儀(SXES:SoftX-RayEmissionSpectrometer)通過(guò)組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機(jī)，實(shí)現(xiàn)了的能量分辨率。和EDS一樣可以并行檢測(cè)，并且能以0.3eV(費(fèi)米邊處Al-L基準(zhǔn))的能量分辨率進(jìn)行分析，超過(guò)