高精密JBX-8100FS圓形電子束光刻系統(tǒng)，通過的設(shè)計(jì)優(yōu)化，實(shí)現(xiàn)更簡(jiǎn)便的操作，更快的刻寫速度，更小的占地面積和安裝空間，并且更加綠色節(jié)能。