半導(dǎo)體微量光子檢測(cè)顯微鏡微光顯微鏡是捕獲半導(dǎo)體器件缺陷或失效點(diǎn)發(fā)射微量光子的一種無(wú)損檢測(cè)設(shè)備。在電激勵(lì)作用下，電子-空穴對(duì)或高能熱載子以光子的形式釋放出多余動(dòng)能。根據(jù)此原理，利用高增益低噪聲的相機(jī)就能