氣體質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫為MFC）用于對氣體的質(zhì)量流進行精密測量和控制。它們在半導體集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典