氣體質(zhì)量流量控制器（MassFlowController縮寫(xiě)為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。典