薄膜應(yīng)變計(jì)由多層（陶瓷絕緣層、NiCr合金電阻層、Au焊盤(pán)、SiO2保護(hù)層）濺射薄膜組成，總厚度不超過(guò)4m,采用濺射、刻蝕工藝直接形成在不銹鋼彈性膜片上，實(shí)現(xiàn)了敏感元件的無(wú)機(jī)質(zhì)化，克服了有機(jī)粘結(jié)膠帶來(lái)的蠕變、滯后