大雅迪克滑臺單軸機(jī)械手謝注1）回復(fù)原點(diǎn)動作的場合、使用電缸的行程兩端的，確定原點(diǎn)用到的氨甲酸酯橡膠、進(jìn)行推壓動作。經(jīng)推測，該橡膠有Z大0.05mm～0.07mm/1～2年程度的經(jīng)時變化。由于經(jīng)時變化、原點(diǎn)位置Z大有0.05