薄膜表面電阻率測(cè)定儀采用了美國(guó)In公司的大規(guī)模集成電路,使儀器體積小、重量輕、準(zhǔn)確度高。以雙3.1/2位數(shù)字直接顯示電阻的高阻計(jì)和電流。量限從1×104Ω～1×1018Ω，是目前國(guó)內(nèi)測(cè)量范圍Z寬，準(zhǔn)確度Z高的數(shù)字超高阻測(cè)