ZYFB-3600渦輪分子泵
技術(shù)參數(shù)表
型號
ZYFB-3600 進(jìn)氣口法蘭
400 ISO-K 排氣口法蘭
100 ISO-K
抽氣速率(L/S)(對空氣) 3600
壓縮比
N2>108 H2>6X102
極限壓強(qiáng)(Pa)<2×10-6<>
額定轉(zhuǎn)速(rpm)12600
使用軸承
進(jìn)口陶瓷軸承
振動值≤0.15μm
啟動時間(min)<10<>
停機(jī)時間(min)<20<>
建議采用的前級泵(L/S)30
冷卻方式 水冷
冷卻水溫度(℃)≤20
冷卻水流量(L/min)1
泵體烘烤溫度(℃)<80<>
環(huán)境溫度(℃)5-40
安裝方向
垂直±5°
泵重量(kg)≈100
ZYFB-3600渦輪分子泵
是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子運(yùn)動從而獲得超高真空的一種機(jī)械式真空泵,是由動葉輪與靜葉輪組合而成,比擴(kuò)散泵節(jié)能、無油蒸汽污染,同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點(diǎn),是目前國內(nèi)大抽速的分子泵,動葉輪采用變截面加工,其強(qiáng)度增加重量減少,使分子泵性能更可靠、穩(wěn)定。
此分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應(yīng),由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應(yīng)用于電子、冶金、化工、科研及真空技術(shù)的各個領(lǐng)域。






















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