技術(shù)參數(shù):
雙倒置磁控管設(shè)計
量程: 1×10-7 ~一個大氣壓
精度: 1×10-6~1×1Pa 30%讀數(shù)
1 ~1×104 Pa 15%讀數(shù)
104 ~105 Pa 50%讀數(shù)
重復(fù)性精度:±5%讀數(shù)
工作溫度:5~55℃
烘烤溫度:150℃
模擬輸出:0-10.5V
供電:14.5~30V
單位mbar,Torr可選
安裝方向:任意
應(yīng)用:
1)基本壓力監(jiān)視和控制,在蒸發(fā)和濺射
鍍膜應(yīng)用中從大氣壓到高真空。
2)一般真空測量 – 工業(yè)爐、建筑玻璃、
半導(dǎo)體、冰箱和空調(diào)。
3)分析和研發(fā)應(yīng)用 – 質(zhì)譜分析、
電子顯微鏡、醫(yī)療、眼科、光學(xué)和
高能物理




















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