IQ+FLOW

基于MEMS技術(shù) — 壓力計/控制器
市場上各個設(shè)備制造商都在努力尋求緊湊的小型檢測、監(jiān)控氣體流量或者壓力的精密儀表。先前,傳統(tǒng)的質(zhì)量流量和壓力計和控制器都需要至少1.5″尺寸,比如具體在NeSSITM 系統(tǒng)中。通過運用MEMS技術(shù),Bronkhorst可以提供一系列尺寸只有0.75″的產(chǎn)品,從而使超緊湊流量和壓力控制器成為可能。
- 最小范圍 0.01…0.5 bar
- 范圍 0.2…10 bar
樣冊下載 產(chǎn)品列表
特點:
- 零點穩(wěn)定性強
- 緊湊的組裝提高空間利用率
- 經(jīng)濟(jì)實惠,節(jié)省成本
- 快速響應(yīng)
- 模擬或者數(shù)字(RS232 / RS485)通訊
以IQ+FLOW® 系列產(chǎn)品的MEMS技術(shù)為基礎(chǔ),Bronkhorst可以給客戶設(shè)計集成多通道與多功能于一體的微流量系統(tǒng)。
分析行業(yè)的應(yīng)用
尺寸為0.75″ 的超緊湊模塊在分析行業(yè)的應(yīng)用舉例:
- 氣相色譜儀注入端的流量-壓力控制
- 氣相色譜儀或高效液相色譜儀檢測端的流量控制
- 火焰離子探測儀的流量控制

















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