超大流量動態(tài)配氣裝置
產(chǎn)品介紹
SSGM-2超大流量動態(tài)配氣裝置搭載多路高精度質(zhì)量流量控制器,采用動態(tài)連續(xù)混合工藝,可實現(xiàn)多路氣體實時、大流量、連續(xù)配比輸出;內(nèi)置閉環(huán)濃度反饋系統(tǒng),自動補償氣體壓力、溫度波動,搭配大容量靜態(tài)混合腔保障氣體均質(zhì),支持百分比至 ppm 級寬濃度區(qū)間自由設(shè)定,實現(xiàn)氣氛在線精 準調(diào)控。
產(chǎn)品核心特點
1.超大流量輸出:量程覆蓋數(shù)十至數(shù)千 SLM,滿足產(chǎn)線、中試設(shè)備連續(xù)大耗氣需求,多支路同步供氣。
2.配比精度穩(wěn)定:MFC 流量精準控制,配套出口濃度在線監(jiān)測閉環(huán)糾偏,長時間運行濃度漂移極小,混合均勻 無分層。
3.智能可編程控制:觸控屏一鍵設(shè)定配比、總流量,多組工藝配方存儲調(diào)用;支持 RS485 通訊對接工廠 PLC, 遠程監(jiān)控、數(shù)據(jù)記錄可追溯。
4.工況適配性強:動態(tài)實時調(diào)節(jié)濃度,可做梯度、變氣氛程序運行;模塊化結(jié)構(gòu),擴容、更換氣體組分便捷, 適配車間高溫多塵環(huán)境。
應(yīng)用行業(yè)
熱加工 / 金屬制造、新能源與催化化工、環(huán)保檢測、真空鍍膜 / 半導(dǎo)體、航空航天、材料科研、特種裝備等。




















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