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的薄膜材料,ULVAC的半導體用靶材坩堝,鍍鍋,坩堝蓋板

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深圳天鉉真空技術有限公司(工商注冊號: 440307106134785),簡稱“天鉉真空”,注冊資金貳佰萬元,公司坐落于改革開放前沿深圳市,現(xiàn)在大陸各地均設有分支機構和辦事處,合作供應商都是來自德國、英國、日本、美國、中國臺灣及國內等區(qū)域的廠家,截止至2008年底天鉉真空深圳總公司服務的客戶已突破800余家,天鉉真空憑借其*的經(jīng)濟后盾及技術資源在國內已打造成為以生產(chǎn)自主“天鉉”品牌、代銷、維修進口真空泵及設計、安裝真空系統(tǒng)為一體的專業(yè)性企業(yè)?!煦C真空經(jīng)銷的品牌:消防水泵、德國(Becker)貝克、德國(BUSCH)普旭、德國(Rietschle)里其樂、法國(Leybold)萊寶、日本(Orion)好利旺、日本(ULVAC)愛華科、英國(EDWARDS)愛德華等;配件名稱:油霧分離器、碳精片、葉片、真空泵油、密封套件、空氣過濾器、軸承、單向閥、止回閥、機油格、散熱風扇、聯(lián)軸器、O型圈等。
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深圳市天鉉真空技術有限公司薄膜材料,ULVAC的半導體用靶材坩堝,鍍鍋,坩堝蓋板 的薄膜材料,ULVAC的半導體用靶材,以?低particle?均勻的薄膜厚度分布?使用效率高作為品質目標,對每種材料研討制造方法,進而開發(fā)制造的高品質濺射靶
的薄膜材料,ULVAC的半導體用靶材坩堝,鍍鍋,坩堝蓋板 產(chǎn)品信息

深圳市天鉉真空技術有限公司 薄膜材料,ULVAC的半導體用靶材坩堝,鍍鍋,坩堝蓋板

的薄膜材料,ULVAC的半導體用靶材,以

?低particle
?均勻的薄膜厚度分布
?使用效率高
作為品質目標,對每種材料研討制造方法,進而開發(fā)制造的高品質濺射靶。
產(chǎn)品特性 / Product characteristics
 ? 采用最合適制造方法的濺射靶

ULVAC為了滿足半導體工藝所需的各種要求,采用最合適的制造方法,進行靶材的開發(fā)和制造。
? 抑制particle發(fā)生的濺射靶
濺射中發(fā)生問題,ULVAC開發(fā)了抑制particle發(fā)生的濺射靶。特別是,根據(jù)在Al靶的精煉和鑄造過程中采用的真空溶解法,我們正在努力減少氧氣等氣體成分,因為這是particle產(chǎn)生的原因之一。
? 通過金屬結構調整實現(xiàn)高均勻性
ULVAC的高純度鈷靶和鈦靶開始,大多數(shù)半導體靶材采用的制造工藝,注重精細和均質化的冶金結構。比如,在高純度鈷靶中,通過金屬結構的精細和均勻化,使靶材表面上的漏磁通量偏差最小化。
? 的品質管體體制
我們ULVAC考慮對產(chǎn)品的特性和形狀,貫徹始終地進行制造。
? 通過金屬結構調整實現(xiàn)高均勻性
產(chǎn)品應用 / Product application
鎢靶的GDMS分析結果

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