產(chǎn)品特點
量程低至0.5SCCM
寬量程比:100:1
響應時間:10ms
無需預熱時間
多功能數(shù)字顯示屏,帶摁鍵背光
內(nèi)置98種常用氣體,可編輯混合氣體
測量參數(shù):質(zhì)量流量、體積流量、溫度和壓力
技術參數(shù)
量程范圍:0.5SCCM~5000SLPM(中間量程可標定)
精度:標準精度±0.8%讀數(shù)±0.2%滿量程,(可選高精度:±0.4%讀數(shù)±0.2%滿量程)
重復性:±0.2%
量程比:100:1
溫度范圍:-10~60℃
溫度精度:±0.75℃
溫度漂移:0.02%滿量程/℃
耐壓:160PSIA(更高選項請來電垂詢)
壓力漂移:± (0.08% of Reading + 0.02% of Full Scale) / atm from calibration conditions
壓力精度:>1atm:±0.5%讀數(shù)
<1atm:±0.07PSIA
防護等級:IP40
濕度范圍:0~95%不凝結
接液材質(zhì):302&303不銹鋼,Viton等多種材質(zhì)
模擬信號:0-5VDC;1-5VDC;4-20mA;0-10VDC
數(shù)字信號:RS232;RS485
通訊協(xié)議:Modbus;Devicenet;EtherCAT;Profibus
標準電氣連接:DB9 male(其他連接方式可選)
供電電源:12-30VDC 250mA min
訂貨參數(shù)
氣體種類
量程范圍(標準狀態(tài)下量程)
使用壓力
使用溫度
精度要求
輸入輸出信號




















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