四探針測試儀采用四點探針法與范德堡測量原理,可完成方塊電阻、電阻率、電導率、厚度等參數(shù)測量。設備支持自動正負電流輸出、自動正負電壓測量,搭配 PC 軟件與液晶顯示,適用于半導體、晶圓、硅片、導電薄膜、納米材料、太陽能電池、觸摸屏等材料的電性能檢測。
功能特點
采用四探針法測量,數(shù)據(jù)穩(wěn)定
自動輸出正負電流,自動測量正負電壓
支持溫度補償與量程自動轉換
配備 PC 軟件,可生成 2D/3D 掃描圖譜、數(shù)據(jù)報表
探針壓力可調(diào),探針間距可選
具備限位、過載、壓力保護與異常警報
支持中英文界面、通訊接口數(shù)據(jù)傳輸
可搭配高溫環(huán)境、真空環(huán)境、晶圓載臺使用
執(zhí)行標準
ASTM F84、GB/T 1551、GB/T 1552、GB/T 26074、GB/T 14141、GB/T 37152
系列型號與技術參數(shù)
FT-3110B 全自動四探針測試儀
方塊電阻:10??~2×10? Ω/□
電阻率:10??~2×10? Ω?cm
測試電流:0.1μA~1A
探針間距:1mm,壓力 100–500g 可調(diào)
載臺:2–12 寸晶圓 / 153mm 方片可選
測試模式:單點、五點、九點、面掃描、直徑掃描
重復性:≤0.5%
FT-330/340 系列四探針測試儀
方塊電阻:10??~2×10? Ω/□
電阻率:10??~2×10? Ω?cm
測試電流:0.1μA~100mA
精度:≤0.3%
探針間距:1mm/2mm/3mm 可選
顯示:液晶中英文界面
FT-361/371/394C 低阻 / 高阻 / 手持型
FT-361B 低阻:10??~2×10? Ω?cm
FT-371A 高阻:10??~10? Ω?cm
FT-394C 手持式:充電電池,便攜測試
探頭:直線型、方型可選,材質鎢鋼 / 鍍金銅針
FT-351 高溫四探針測試儀
溫度范圍:常溫~1200℃可選
控溫精度:±1℃
電極:鎢電極、鉑銠電極可選
樣品臺:高溫陶瓷,適配固 / 液體樣品
可測高溫下電阻、電阻率、電導率曲線
FT-3120B 半自動四探針測試儀
電阻率:10??~2×10? Ω?cm
探針壓力:100–550g 可調(diào)
支持晶片尺寸:2–12 寸晶圓 / 156mm 方片
模式:自動 / 手動單點測試
保護:限位、壓力防護
適用材料
硅片、晶圓、非晶硅、微晶硅、半導體襯底、擴散片、鈍化片、PN 結、導電薄膜、ITO 膜、OLED、LCD、太陽能電池、鐵電材料、納米材料、金屬鍍層等。
適用場景
半導體工廠、新能源企業(yè)、材料研發(fā)、高校實驗室、科研院所、質檢機構、生產(chǎn)質控。
可選配件
四探針探頭、鎢鋼針、鍍金銅針
2–12 寸晶圓載臺、方片載臺
標準電阻、測試線、分析軟件
電腦打印機、計量證書、延保服務
高溫樣品臺、高溫電極、氣氛保護裝置
粉體與材料配套方案
可搭配粉末電阻率測試儀、壓實密度儀、振實密度儀、流動測試儀等設備,組成完整電性能與物性檢測系統(tǒng)






























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