速、準(zhǔn)的MFC

針對(duì)半導(dǎo)體工藝的性能

• 嵌入式診斷利用實(shí)時(shí)以太網(wǎng)數(shù)據(jù)采集能力
• 超穩(wěn)定流量傳感器（每年≤設(shè)定值0.15%的漂移）使低流量更精準(zhǔn)，同時(shí)減少維修的需求
• 改進(jìn)的閥門關(guān)閉（≤bin范圍的0.15%）減少閥門內(nèi)漏，從而改善片晶圓效應(yīng)
• 新增強(qiáng)的抗壓力瞬時(shí)波動(dòng)在持續(xù)流體傳輸中降低了串?dāng)_流敏感度

特點(diǎn)

• 每年<>
• 響應(yīng)穩(wěn)定時(shí)間: 300毫秒 - <>
• 流量可達(dá)到300 slpm
• 全金屬密封的流體通路：可選5µ 或 10µ inch Ra的表面粗糙度
• 抗腐蝕的哈氏合金升溫傳感器在溫度升高時(shí)改善了測量的重復(fù)性
• MultiFloTM 氣體和量程的可編程性—一臺(tái)表，幾千種氣體和量程的組合，無需把MFC從管路上拆除，也不會(huì)影響精度
• 方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口可幫助儀表安裝，監(jiān)測和故障排查
• GF120 安全傳輸系統(tǒng)(SDS®)是布魯克斯的低壓降質(zhì)量流量控制計(jì)，用于離子注入和刻蝕工藝的負(fù)壓安全傳輸系統(tǒng)的氣體傳輸 

優(yōu)勢

• 超常的性能
  
  • 快速反應(yīng)時(shí)間改進(jìn)應(yīng)用效率
• 靈活的拓?fù)?br>
  • 幾乎無限的網(wǎng)絡(luò)拓?fù)淇赡?/li>
• 簡單、堅(jiān)固
  
  • 配置，診斷以及維護(hù)
• 負(fù)擔(dān)能力
  
  • 標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)端口

應(yīng)用

• 半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備
• 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) (CVD, MOCVD, PECVD, ALD)
• 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
• 外延工藝系統(tǒng)