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鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220

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參考價

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱伯東企業(yè)（上海）有限公司
品牌
型號
所在地上海市
廠商性質(zhì)代理商
更新時間2026/6/22 16:25:32
訪問次數(shù)41

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公司介紹主營產(chǎn)品

伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司主要從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。

上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供**的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。

上海伯東作為國際真空品牌代理商，全權(quán)負責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，使用原廠進口零部件以及國外受訓(xùn)維修工程師；擁有拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務(wù)。

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德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品，美國 KRI 離子源，美國Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門

產(chǎn)品簡介在線詢價

鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220

鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 產(chǎn)品信息

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220
上海伯東德國普發(fā) Pfeiffer 真空鍍膜工藝監(jiān)測器 SPM 220 為鍍膜工藝的定性和定量氣體分析提供了的解決方案. 搭配 HiPace 渦輪分子泵組和專門開發(fā)的鍍膜工藝監(jiān)測器離子源, 在高達 10-2 hPa 的壓力下, 實現(xiàn)了精確到分鐘的工藝氣體分析. Pfeiffer 同時提供一個帶有壓差孔板法蘭的型號供選擇, 可以實現(xiàn)在高達 10 hPa 的壓力范圍里進行直接的工藝氣體分析.

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 優(yōu)勢
用于瞬時過程監(jiān)測的鍍膜工藝監(jiān)測器離子源
用于 H2, O2, H2O 和 CO2 的優(yōu)秀檢測限
對測量結(jié)果的最小化背景影響
提供壓力高達 10 hPa 的壓差型號
多重操作允許帶單個 PC 的多個質(zhì)譜儀系統(tǒng)進行數(shù)據(jù)評估
靈活集成的緊湊尺寸
通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出, 使系統(tǒng)集成方便而靈活

鍍膜工藝氣體分析儀 SPM 220 應(yīng)用
半導(dǎo)體生產(chǎn),玻璃鍍膜, 薄膜太陽能電池發(fā)電,研發(fā)

鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 組成：渦輪分子泵+四級桿質(zhì)譜+離子源
Pfeiffer 普發(fā)鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220

鍍膜工藝氣體監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 優(yōu)勢：
鍍膜工藝監(jiān)測器離子源，適用于瞬時過程監(jiān)測
對氣體H2、O2、H2O 和 CO2 優(yōu)秀檢測極限
對測量結(jié)果的最小化背景影響
壓力高達 10 hPa 的壓差版本
多重操作允許帶單個 PC 的多個質(zhì)譜儀系統(tǒng)進行數(shù)據(jù)評估
緊湊設(shè)計，易于系統(tǒng)集成
通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出
Pfeiffer監(jiān)測質(zhì)譜 SPM 220 技術(shù)參數(shù)：

SPM 系統(tǒng)控制

BRU 220

電壓

115-230 V

前級泵

MVP 020-3

四極控制

QME 220

帶 SPM 離子源的分析儀

QMA 220

探測器

C-SEM/Faraday

桿系統(tǒng)：材料

不銹鋼

桿系統(tǒng)：直徑

6 mm

桿系統(tǒng)：長度

100 mm

檢測極限（氬中）：二氧化碳

< 100 ppb

檢測極限（氬中）：氧氣

< 100 ppb

檢測極限（氬中）：氮

< 100 ppb

檢測極限（氬中）：水

< 3000 ppb

檢測極限（氬中）：水蒸氣

< 500 ppb or < 6000 ppb

渦輪分子泵

帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80

質(zhì)量數(shù)

1-100 amu or 1-200 amu

過程壓力至

1 hPa or 10 hPa or 8hPa

連接法蘭（入口）

DN 40 CF-F

重量

13 kg

若您需要進一步的了解詳細信息或討論，請參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東：葉女士中國臺灣伯東：王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
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關(guān)鍵詞：PC 質(zhì)譜儀