可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
采用密閉腔結(jié)構(gòu),屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜
特點/應(yīng)用:
◆ 可用于12英寸以內(nèi)樣品測試
◆ 采用密閉腔結(jié)構(gòu),屏蔽外部電信干擾同時保持氮氣正壓環(huán)境下樣品在低溫時無結(jié)霜
◆ 優(yōu)化的腔體保溫結(jié)構(gòu)可以極大的減少液氮消耗量
◆ 可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡
◆ 可搭配多種類型顯微鏡
◆ 結(jié)構(gòu)模塊化設(shè)計,可無縫升級
◆ 探針臺可根據(jù)客戶要求定制。






















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