主要特點(diǎn):

• 電阻測量可達(dá)1018 Ω
• 電流測量范圍10aA - 20mA
• 最小電流量程輸入端壓降<20μV
• 200TΩ 輸入阻抗
• <3fA 偏置電流
• 測試速率425 rdgs/s
• 噪聲0.75fA p-p
• 內(nèi)置±1kV電壓源
• 獨(dú)特的高電阻測量電壓反接方法
• 可選的插件式掃描卡

性能指標(biāo)

半機(jī)架型6517B靜電計(jì)/高阻表具有特殊的低電流輸入放大器，其輸入偏置電流<3fA，噪聲僅 0.75fA p-p (峰-峰) ，輸入端壓降<20μV。對于接近理想的電路負(fù)載，其電壓和電阻測量的輸入阻抗是200TΩ。這些性能指標(biāo)確保物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量所需的準(zhǔn)確度和靈敏度。內(nèi)置±1kV的電壓源具有掃描能力，從而簡化漏流測試、擊穿電壓測試和電阻測試，以及絕緣材料的體電阻率(Ω-cm) 及表面電阻率(Ω/square) 的測量。

測量范圍寬

6517B型靜電計(jì)/高阻表具有全自動(dòng)量程，超過電流、電阻、電壓和電荷測量滿量程：
• 電流測量范圍：10aA - 20mA
• 電壓測量范圍：1μV - 200V
• 電阻測量范圍：1Ω - 1018Ω
• 電荷測量范圍：1fC - 2μC

改進(jìn)的高靈敏度測量

許多測試應(yīng)用要求測量高級(jí)別材料的電阻率（面電阻率和體電阻率）。傳統(tǒng)測量方法是對樣本施加足夠高的電壓，測量流經(jīng)樣本的電流，然后利用歐姆定律(R=V /I)計(jì)算其電阻。雖然高阻材料和器件產(chǎn)生很小的電流，很難準(zhǔn)確進(jìn)行測量，但利用吉時(shí)利靜電計(jì)和皮安計(jì)則可以成功地進(jìn)行這種測量。

即使利用高精度儀器，材料中固有的背景電流使得進(jìn)行準(zhǔn)確測量較為 困難。由于壓電效應(yīng)、電容效應(yīng)和偏振效應(yīng)，絕緣材料、聚合物和塑料通常都顯示出電流。這些電流一般等于或大于施加電壓產(chǎn)生的電流。 在這些情況下，其測量結(jié)果往往是不穩(wěn)定的，生成不準(zhǔn)確的電阻或電阻率讀數(shù)甚至錯(cuò)誤的負(fù)值。吉時(shí)利6517B型靜電計(jì)/高阻表旨在解決這些問題， 并為各種材料和元件提供一致、可重復(fù)和精準(zhǔn)的測量，特別是與8009型電 阻測試夾具一起使用時(shí)。

變換極性法

6517B型靜電計(jì)/高阻表使用變換電極法，實(shí)際上消除了樣本的背景電 流。并剔除背景電流的級(jí)和第二級(jí)漂移。變換電極法施加一個(gè)正極性 電壓，然后在指定延遲（測量時(shí)間）后測量電流。接著，改變電壓極性， 使用相同的延遲，重新測量電流。連續(xù)重復(fù)這個(gè)過程，并根據(jù)4個(gè)電 流測量結(jié)果的加權(quán)平均值計(jì)算出電阻。對大多數(shù)材料來說，通過7次反轉(zhuǎn)(即 舍棄前三個(gè)讀數(shù))，這個(gè)方法通常生成可高度重復(fù)、準(zhǔn)確的電阻（或電阻 率）測量結(jié)果。例如，利用8009型測試夾具0.3%的重復(fù)度，可對1mm厚 的1014Ω-cm材料樣本進(jìn)行測量，在15秒測試周期內(nèi)其背景電流低于200fA。

與數(shù)字多用表類似的簡單操作

6517B型靜電計(jì)/高阻表采用與數(shù)字多用表類似的簡易操作，可通過前面板，利用單一按鈕控制電阻測量等 重要功能。還可以通過內(nèi)置IEEE-488 接口實(shí)施控制，因此，可利用計(jì)算機(jī) 控制器通過總線對所有功能進(jìn)行編程。

高阻測量

6517B型靜電計(jì)/高阻表的諸多特 性和能力有助于確保高阻測量應(yīng)用的準(zhǔn)確度。例如，其內(nèi)置電壓源簡化了 絕緣器電阻率和所用電源電壓電平之間關(guān)系的確定。它還非常適合電容器泄漏和絕緣電阻測量、印刷電路板表面絕緣電阻測試、電阻器電壓系數(shù)測試以及二極管泄漏特性分析。

溫度和濕度測試

濕度和溫度可能嚴(yán)重影響材料的 電阻率值。為了幫助您準(zhǔn)確比較在不同情況下測得的讀數(shù)，6517B型靜電 計(jì)/高阻表提供內(nèi)置K型熱電偶和一個(gè)可選的6517-RH型相對濕度探頭。其內(nèi)置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)緩沖器允許記錄和調(diào)用 具有時(shí)間、溫度和相對濕度Stamping 的讀數(shù)。

附件擴(kuò)展測量能力

利用多種可選附件，可以擴(kuò)展 6517B型靜電計(jì)/高阻表的應(yīng)用，并改進(jìn)其性能。

掃描卡。利用兩張掃描卡，可以簡化多個(gè)信號(hào)的掃描。每張卡都可以插入儀器后面板的插槽。6521型掃描卡提供10個(gè)低電平電流掃描通道。 6522型掃描卡提供10個(gè)高阻抗電壓開關(guān)或低電流開關(guān)通道。

測試夾具。8009型電阻率夾具是一款受保護(hù)的測試夾具，用于樣本材料的體電阻率和表明電阻率測量。它包括 按ASTM標(biāo)準(zhǔn)構(gòu)建的不銹鋼電極。該 夾具的電極尺寸已在6517B型靜電計(jì) /高阻表預(yù)編程，因此無需計(jì)算其數(shù) 值，可以稍后手動(dòng)輸入。這個(gè)附件旨 在保護(hù)用戶避免接觸潛在的危險(xiǎn)電壓 ——自動(dòng)開啟夾具蓋，關(guān)閉6517B型 靜電計(jì)/高阻表電壓源輸出。

應(yīng)用

6517B型靜電計(jì)/高阻表非常適合物理、光學(xué)、納米技術(shù)和材料科學(xué)等研究領(lǐng)域的低電流和高阻抗電壓、電阻和電荷測量。其極低的電壓降非常適合太陽能電池測量，其內(nèi)置電壓源和低電流靈敏度使之成為基于聚合物的納米線等高阻測量的解決方案。其高速和易用性使之成為質(zhì)量控制、產(chǎn)品工程和生產(chǎn)測試（包括漏流、擊穿和電阻測試）應(yīng)用的好選擇。利用6517B型靜電計(jì)/高阻表的電壓反轉(zhuǎn)方法，可以大幅改進(jìn)對絕緣材料的體電阻率和表面電阻率測量。 6517B型靜電計(jì)/高阻表還非常適合電化學(xué)應(yīng)用，如離子選擇性電極和pH測量、 電導(dǎo)電池和電勢測定。

改進(jìn)型6517B靜電計(jì)/高阻表

6517B型靜電計(jì)/高阻表是一款升級(jí)型號(hào)，用于取代1996年推出的6517A 型儀器。利用SCPI指令為6517A型儀器建造的軟件應(yīng)用程序無需任何修改即可用于6517B型靜電計(jì)/高阻表。不過，同早期的6517A設(shè)計(jì)相比，6517B型靜電 計(jì)/高阻表進(jìn)行了一些改進(jìn)。其內(nèi)部電池供電的內(nèi)存緩存可存儲(chǔ)高達(dá)50,000個(gè) 讀數(shù)，允許用戶更長時(shí)間地記錄測試結(jié)果，并存儲(chǔ)更多與讀數(shù)有關(guān)的數(shù)據(jù)。該新型儀器還為內(nèi)部緩存提供更快的讀取速度(425讀數(shù)/秒)，還可通過IEEE 總線存入外部存儲(chǔ)器(400讀數(shù) /秒)。