1）可對樣品進(jìn)行 49 點、81 點、中心 1 點、中心 10 點、中心半徑 5 點、中心邊緣 5 點、中心半徑邊緣 9 點、直徑掃描等測試；統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)生成 2D 和 3D 的 map 圖；

2）屏蔽測試，消除光對樣品測試的影響，保證測量的準(zhǔn)確性；
3）真空吸附防止全自動測試過程中樣品移動對測試的影響；
4）一體化嵌入式設(shè)計，觸控電腦屏幕操作，手指點點就可以完成操作。

四探針電阻測試儀不僅是工程和物理學(xué)的勝利，也是工程和物理學(xué)的勝利。四探針是一種實用工具，在各個行業(yè)都有多種應(yīng)用。四探針適用于半導(dǎo)體及太陽能電池（單晶硅、多晶硅、非晶硅、鈣鈦礦）、液晶面板（ITO/AZO） 、功能材料（熱電材料、碳納米管、石墨烯、納米線、導(dǎo)電纖維、復(fù)合材料）、半導(dǎo)體工藝檢測（金屬化/離子注入/擴(kuò)散層）、非晶合金等、形狀記憶合金、半導(dǎo)體制造等多個行業(yè)。

四探針測量儀是一種常用的用于測量電子材料(如硅(Si)、鍺(Ge)、砷化鎵(GaAs)等半導(dǎo)體材料的電阻率以及用于電子器件的薄膜(薄層)的電阻率值的測量工具。

CHT-4500RH是專為科學(xué)研究設(shè)計的掃描四探針電阻測試儀，可以對 200mm 樣品（或 8 英寸晶圓）進(jìn)行快速、自動的掃描，獲得樣品不同位置的方阻/電阻率分布信息。探針頭借鑒了機(jī)械鐘表機(jī)芯制造工藝，使用紅寶石軸承引導(dǎo)碳化鎢探針，確保高機(jī)械精度和長使用壽命。動態(tài)測試重復(fù)性（接近真實場景）可達(dá) 0.2%，為行業(yè)水平。1 μΩ~1 MΩ的超寬測量范圍可涵蓋絕大部分應(yīng)用場景，可廣泛適用于光伏、半導(dǎo)體、合金、陶瓷等諸多領(lǐng)域。 

CHT-4500RH 型全自動四探針測試系統(tǒng)是運用四探針測量原理的多用途綜合全自動測量設(shè)備。該設(shè)備按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用設(shè)備。通過全自動測試系統(tǒng)，對晶圓片進(jìn)行電阻率和方塊電阻分布的測量，繪制出等值線圖后，從而直接觀察到整個晶圓片的電阻率或方塊電阻大小的分布。

CHT-4500RH 型四探針自動測試系統(tǒng)通過采用四探針雙位組合測量技術(shù)，將范德堡測量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上。利用電流探針和電壓探針的組合變換，進(jìn)行兩次電測量，其最后計算結(jié)果能自動消除由樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素所引起的，對測量結(jié)果的不利影響。因而在測試過程中，在滿足基本條件下可以不考慮探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置等因素。這種動態(tài)地對以上不利因素的自動修正，顯著降低了其對測試結(jié)果的影響，從而提高了測量結(jié)果的準(zhǔn)確度。

CHT-4500RH 型全自動四探針軟件測試系統(tǒng)擁有友好操作測試界面，通過此測試程序輔助用戶簡便地進(jìn)行各項測試操作，把采集到的測試數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)學(xué)分析，然后把測試數(shù)據(jù)以 Excel 表格，2D、3D 等數(shù)值圖直觀地記錄、顯示出來。方便用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析，用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看。

全自動四探針軟件測試系統(tǒng)