穩(wěn)定的重復性花崗巖龍門架結構搭配高精度微力傳感器與微動掃描器,提供高的測量精度和重復性:1um標樣30次掃描偏差極值<10nm,準確度小于0.5nm。 | ||
金剛石探針采用金剛石探針,提供不同規(guī)格,滿足客戶對臺階儀的不同需求。 | ||
無畸變觀察樣品區(qū)系統(tǒng)配備攝像頭,實時監(jiān)測探針掃描狀態(tài)及可觀察掃描區(qū)域,無畸變觀察樣品區(qū)。 | ||
樣品空間姿態(tài)調節(jié)功能配備了精密XY位移臺、360°旋轉平臺,可對樣品的XYZ、角度等空間姿態(tài)進行調節(jié),提高測量精度及效率。 | ||
半導體應用1)沉積薄膜的臺階高度 2)抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度 3)蝕刻速率測定 4)化學機械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲) | ||
蓋鈦礦臺階高度測量 |
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玻璃基板及顯示器應用1)AMOLED 2)液晶屏研發(fā)的臺階步級高度測量 3)觸控面板薄膜厚度測量 4)太陽能涂層薄膜測量 | ||
柔性電子器件薄膜應用1)有機光電探測器 2)印于薄膜和玻璃上的有機薄膜 3)觸摸屏銅跡線 | ||
型號 | CHT-TJ02B | ||
樣品 | 單片(厚度≤10mm) 可定制 | ||
晶圓尺寸和行程 | 6寸 ≤150mm | 8寸≤200mm | 12寸≤300mm |
重復性測量偏差 | ≤0.5nm(1σ 1um標準塊重復掃描30次) | ||
測量范圍 | 80um | ||
垂直分辨率 | 0.05nm滿量程 | ||
探針加力范圍 | 0.5~50mg | ||
力控制 | 恒定 | ||
采樣速度 | 200Hz | ||
掃描長度 | 55mm | ||
掃描方向 | 左右雙向 | ||
掃描分辨率 | 10nm | ||
掃描采集點數(shù) | 200萬點 | ||
掃描速度 | 5um/s -50um/s | ||
掃描平整度 | 20nm/2mm | ||
樣品臺運動方式 | 可實現(xiàn)水平(X/Y),旋轉(RZ)手動控制 | ||
XY樣品臺重復性 | ±5um | ||
Z樣品臺行程 | 10mm | ||
樣品旋轉臺 | 士360° | 士360° | |
標準探針 | 曲率半徑≥2um角度60°(標配) | ||
亞微米探針 | 曲率半徑≤1um角度60° | ||
軟件功能 | 臺階、粗糙度、平整度和翹曲度測量 | ||
探針傳感器 | 超低慣量,LVDC傳感器 | ||






















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