測試原理圖(TLM)在太陽能電池電極優(yōu)化中,接觸電阻是需要考量的一個(gè)重要方面。接觸電阻的大小不僅與接觸的圖形有關(guān),還與擴(kuò)散工藝及燒結(jié)工藝有關(guān)。測量接觸電阻率可以反映擴(kuò)散、電極制作、燒結(jié)等工藝中存在的問題。 該檢測設(shè)備共計(jì)2種測試功能:接觸電阻率測試和線電阻測試,可切換使用。測試原理如下:
測量電阻由三個(gè)部分組成: 1)兩側(cè)的探針與電極的金屬接觸電阻Rm(考慮到< 2)電極與所研究材料間的接觸電阻Rc; 3)半導(dǎo)體材料的方阻Rsh。 通過改變電極間距d,可以得到RTLM與d的關(guān)系曲線,從而提取出界面接觸電阻Rc和所研 究材料的方阻Rsh。 |
探針頭簡介
圖4 圖4所示為接觸電阻探頭,兩相鄰探針軸間距可在≥0.5mm 且 ≤3mm 的范圍選擇,可根據(jù)用戶要求定制不同間距規(guī)格。
圖5 圖5所示是線電阻探頭,相鄰探針組,外軸間距為10mm,可測的柵線長度為10-50mm,可根據(jù)用戶要求定制不同間距規(guī)格。 |
測試分布圖薄層電阻分布圖--sheet resistance(Q/sq)
圖7 上圖是測試7個(gè)樣品的薄層電阻分布圖。每個(gè)片子各測試5塊區(qū)域,以紅色的深淺來表示薄層電阻的大小,直觀表現(xiàn)出電阻大小。 接觸電阻分布圖-contact resistance(Q)
圖8 上圖是測試7個(gè)測試片子的接觸電阻分布圖。每個(gè)片子各測試5塊區(qū)域,以紅色的深淺來表示薄層電阻的大小,直觀表現(xiàn)出電阻大小。 接觸電阻率分布圖-p c(mΩ*cm2)
圖9 上圖是測試7個(gè)測試片子的電阻率分布圖。每個(gè)片子各測試5塊區(qū)域,以紅色的深淺來表示薄層電阻的大小,直觀表現(xiàn)出電阻大小。 線電阻測試界面圖-line resistance(Q/cm)
圖10 上圖是正在測試線電阻過程中的界面圖。界面右邊顯示在一條片子中各條線的線電阻的分布。 |
TLM接觸電阻技術(shù)指標(biāo) | |
|---|---|
| 型號 | CHT-6070TLM |
適用電池尺寸 | 230mm及以下尺寸的切割電池片 |
可測樣品寬度 | 5~10mm |
探針頭 | 有以下方案可選擇: 固定探針頭:按客戶的尺寸加工,加工范圍0.5-3mm; 可調(diào)探針頭:目前有4種規(guī)格, (1)0.9-1.0mm(2)1.0-1.2mm(2)1.2-1.8mm(3)1.8-2.5mm |
接觸電阻測量范圍 | 0~120Ω |
接觸電阻測量重復(fù)性 | 優(yōu)于5%或0 . 5m Q*cm^2 |
線電阻技術(shù)指標(biāo)(選配) | |
適用電池尺寸 | 230mm及以下尺寸的切割電池片 |
可測的樣品寬度 | 5-10mm,其他規(guī)格需特殊定制 |
線電阻測量范圍 | 0~40 Q/cm |
線電阻測量重復(fù)性 | 優(yōu)于5%或0 . 20/cm |
擴(kuò)散方阻技術(shù)指標(biāo)(選配) | |
適用電池尺寸 | 230mm及以下尺寸的電池片 |
測量范圍 | 5×10-4~2×10?Q/□ |
方阻測試重復(fù)性 | 優(yōu) 于 3 % |



























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