磁場(chǎng)補(bǔ)償系統(tǒng)在世界各地安裝了500多臺(tái)掃描電鏡和透射電鏡。連續(xù)補(bǔ)償從直流到10千赫。小尺寸三軸磁通門磁場(chǎng)I OE傳感器,具有亞納米分辨率和高穩(wěn)定性.顯示和報(bào)警功能。高可靠性通過(guò)穩(wěn)健的類比設(shè)計(jì),易于編程。
TEM的磁場(chǎng)規(guī)范通常比SEM更嚴(yán)格。大尺寸TEM柱要求磁場(chǎng)均勻?,F(xiàn)場(chǎng)測(cè)量中所需的磁場(chǎng)梯度測(cè)量。補(bǔ)償線圈的定制規(guī)劃是補(bǔ)償線圈均勻性的必要條件。
磁場(chǎng)測(cè)量采用三軸磁場(chǎng)傳感器,安裝在SEM/TEM柱2上.反向場(chǎng)是由連接到反饋控制器的電流-直通電纜環(huán)產(chǎn)生的。





















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