X60-12旋渦型噴頭:

    旋渦型超聲波噴頭，是一種具有旋風(fēng)圓錐狀噴霧的超聲波霧化噴頭。其采用超聲波霧化噴頭技術(shù)，通過特殊的渦旋流道設(shè)計將載氣變換成均勻的旋轉(zhuǎn)氣流，使超聲霧化后的液霧呈旋風(fēng)形式散射噴出，擴大了超聲波噴頭的噴涂面積的同時還可以對垂直或曲面等帶有角度基材進(jìn)行噴涂。

    散射型超聲波噴頭典型的應(yīng)用是半導(dǎo)體晶圓的光刻膠噴涂，將光刻膠噴涂在半導(dǎo)體晶圓上。由于散射型超聲波噴頭噴出的霧是旋轉(zhuǎn)散射的，故此不僅可以均勻的在晶圓的平面上形成光刻膠薄膜，而且還可以在晶圓微型結(jié)構(gòu)的側(cè)壁及夾角處形成均勻包裹的光刻膠薄膜。除此之外，散射型超聲波噴頭還可應(yīng)用于如薄膜太陽能電池噴涂、鈣鈦礦太陽能電池噴涂、AR增透減反射膜噴涂、隔熱薄膜噴涂、超疏水涂層噴涂、PCB助焊劑噴涂等等。

參數(shù)特點：

·噴頭材質(zhì)：TC4鈦合金

·頻率：60KHZ

·功率：0-25W

·噴霧流量：0.01-20ml/min

·噴涂直徑：30-60mm

·噴涂高度：40-120mm

·平均霧化顆粒徑：22µm

·導(dǎo)流氣壓：0.005-0.12mpa

·超聲波控制器：多核數(shù)字處理器