產(chǎn)品簡介:VPS-RF05是一款小型桌面型真空等離子處理儀,其原理是在真空狀態(tài)下(約10~100pa),給氣體施加電場,氣體在電場提供的能量下會由氣態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榈入x子體狀態(tài)(也稱物質(zhì)的“第四態(tài)”),其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子,比通常的化學(xué)反應(yīng)所產(chǎn)生的活性粒子種類更多、活性更強(qiáng),更易于和所接觸的材料表面發(fā)生反應(yīng)。通過利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發(fā)生物理或化學(xué)的反應(yīng),從而達(dá)到改變材料表面性質(zhì)的目的。
VPS-RF05 小型桌面型真空等離子處理儀特點:進(jìn)口等離子電源電路技術(shù)、放電結(jié)構(gòu),確保等離子體均勻分布
VPS-RF05 小型桌面型真空等離子處理儀應(yīng)用:去除表面有機(jī)物、提高粘接性、提高表面潤濕性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度

產(chǎn)品參數(shù):
型號 | VPS-RF05 |
頻率 | 13.56MHz自動阻抗匹配 |
功率 | 0-200W連續(xù)可調(diào) |
腔體材質(zhì) | 進(jìn)口級316L不銹鋼 |
腔體容積 | 5L |
腔體尺寸 | Φ150(直徑)×280(D) |
有效處理面積 | 140(W)*250(D)mm |
氣體流量控制器 | MFC 質(zhì)量流量控制器 |
氣路數(shù)量 | 2 路氣體,常用O2、Ar2、N2,H2、等(腐蝕性氣體需定制) |
真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼真空硅管 |
極限真空度 | 1Pa |
控制方式 | 4.3寸觸摸屏+PLC |
真空泵 | 油泵/干泵(選配) |
電源供應(yīng) | AC220V/50Hz |
外形尺寸 | 550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H) |




















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