技術(shù)參數(shù):
| 機(jī)型 | HX-LM-2000 |
| 設(shè)備尺寸 | 約1520(L)x1800(W)x1987(H)mm |
| 激光波長 | 355nm/532nm/1064nm |
| 激光功率 | 5W?50W |
| 脈沖能量穩(wěn)定性 | <2% |
| 字體 | DotmatrixSEMIOCR5*9/9*17/10*18 Barcode SEMIBC412SEMIT7 |
| 光束質(zhì)量M2 | <1.2 |
| 定位精度 | ±100um |
| 點(diǎn)深度 | (1.5?5)±0.5μm |
| 點(diǎn)直徑 | (50?70) ±5μm |
| 晶圓材質(zhì) | 無涂層硅片/氧化硅片/碳化硅/砷化鎵/鉭酸鋰/鈮酸鋰 |
| 晶圓尺寸 | 100mm/150mm/200mm/300mm |
| 晶圓傳送 | 單臂/雙臂 機(jī)器人 |
| 晶圓校準(zhǔn)器 | 光電式 |
| Loadport | 1個/2個 |
| 產(chǎn)能 | 120(OnlyLaser)/100(LaserandOCR) |
| 清潔度 | <Class 100 |
| MTBF | >350hr |
| MTTR | <4hr |
| 可運(yùn)行時間 | ≥95% |
| 電源要求 | AC220V 20A 50Hz |




















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