NanoXSpot 測量儀 (NxS)

? 全新測量儀設(shè)計 NxS-1020 最終確定：

• 使用新開發(fā)的算法進行焦點測量和特性分析

• 全新焦點 CT 重建算法

? 樣品支架設(shè)計便于測量儀使用

? NxS 測量儀上的圖案組（4 個象限）：

• 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu)，特征尺寸為 3-12 µm（Q1）

• 會聚線組圖案（Q2 和 Q3）（類似于西門子星）

• 直徑為 5 µm 至 1 mm 的孔圖案（Q4）

重新設(shè)計的 NxS-1022b 儀表

? 樣品架設(shè)計便于使用儀表

? NxS 儀表上的圖案組（4 個象限）：

• 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu)，特征尺寸為 4-20 µm（Q1）

• 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu)，特征尺寸為 63 µm（Q2）

• 直徑為 5 µm 至 1000 µm 的孔圖案（Q3）

• 不同方向的線組圖案結(jié)構(gòu)，特征尺寸為 25-50 µm（Q4）

外形尺寸：10 mm x 10 mm 芯片尺寸（帶藍寶石玻璃蓋的支架：40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米）

材料

襯底：200 μm 厚硅

吸收器：8 μm 高的金
線寬/間距：公差：+/- 15%
圖形線寬 [μm]：4 個象限，每個象限 4 mm x 4 mm;2 個經(jīng)過改進的西門子星形，具有圓孔和 5 條平行金線，線寬和間距分別為 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小線寬：3 μm。最小孔徑：5 μm