GU-PSQ系列高真空球閥采用一體式超短型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),采用“V”型節(jié)流口使得調(diào)節(jié)抽速更顯,裝于單晶爐的主抽氣管道上用來調(diào)節(jié)爐體的抽氣速率,改變了老式的“蝶閥+擋板閥”組合形式。
既能用在真空系統(tǒng)中切斷真空管路介質(zhì),也能在壓力狀態(tài)下使用。
氣動(dòng)執(zhí)行器可選雙作用和單作用彈簧復(fù)位,也可配以智能閥門定位器,通過外部輸入信號(hào)來控制氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置;
電動(dòng)執(zhí)行器可選開關(guān)型和調(diào)節(jié)型電動(dòng)執(zhí)行器來實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)控制。
適用范圍 | 40×105~6.7×10-5Pa |
閥門漏率 | ≤6.7×10-5Pa.L/S. |
介質(zhì)溫度 | -25~+150oC (聚四氟乙烯) -30~+260oC (對(duì)位聚苯) |
安裝狀態(tài) | 任意 |
氣源壓力(氣動(dòng)執(zhí)行器) | 0.4~0.6MPa (GUQ-PSQ) |
動(dòng)作時(shí)間(電動(dòng)執(zhí)行器) | 4s、10s、20s、30s (GUD-PSQ) |
電源 | 常規(guī)出廠:AC220V/50HZ 可選:AC110V、DC24V |
閥體、閥蓋、閥桿、球體 | 不銹鋼 |
密封件 | 聚四氟乙烯、對(duì)位聚苯 |




















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