● 實現(xiàn)80nm高分辨率,高對比觀察
● 采用深紫外線248nm的色差補正光學(xué)系,實現(xiàn)明亮、高對比深紫外線觀察
● 系統(tǒng)設(shè)計自如和實現(xiàn)節(jié)省空間的單元式小型輕量化
● 采用長壽命汞氙燈,減少更換燈泡所耗,降低操作成本
OLYMPUS U-UF248深紫外顯微鏡單元規(guī)格
| UVF248鏡筒 U-UVF248IM | DUV光學(xué)系統(tǒng) | 使用波長:248±4nm;光源:80W汞氙燈;物鏡:專用DUV100*/N.A.0.9WD0.2mm;中間倍率:2.5x;視場數(shù):12.5(實際視場50μm);適用環(huán)境:23±5℃ |
| 可視光學(xué)系統(tǒng) | 物鏡:UIS物鏡;中間倍率:1x;視場數(shù):22(相機觀察為20) |
DUV圖象采集系統(tǒng)規(guī)格
| DUV相機 | XCD-SX910UV(Sony制造)高分辨率DUV數(shù)碼相機;SXGA1280(H)*960(V);紫外適用范圍:190nm-380nm(可視領(lǐng)域中也有適用部分) |
| DUV相機操作系統(tǒng)適用 | 適用PCI路徑的IEEE1394圖象輸入板;相機操作用PC(WindowsXP,驅(qū)動:CD-ROM或DVD-ROM) |
顯微鏡本題規(guī)格
| 推薦使用的顯微鏡系統(tǒng) | 半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡/MX61/MX61L; 工業(yè)檢測顯微鏡/MX51; |
| 系統(tǒng)消耗電量 | 3kW() |
| 重量 | 約46kg(與MX61組合時),約28kg(與MX51組合時) |




















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