ETSA-300氣浮平臺

說明：

1.氣浮平臺克服了傳統(tǒng)機械定位臺行程短，響應滯后大，摩擦阻力等不足，實現(xiàn)了長行程高精度與高速定位功能，在半導體光刻設備，精密測量和生物醫(yī)學等領域中具有不可替代的作用。

2.重復定位精度高，俯仰偏擺角度小，運動臺與導軌使用同種材料，在溫度變化較大的工況下不會出現(xiàn)氣 浮臺常見的“抱死”現(xiàn)象。

特點：

通過靜壓氣浮隔離機械運動副之間的接觸，提高平臺機構(gòu)運動精度、表面平滑、微小偏差（俯仰， 偏擺等）、性能穩(wěn)定、沒有機械損耗、“零”摩擦可使其進入納米級應用。

使用場所：

精密加工、精密測量、微電子制造業(yè)、光刻機平臺、半導體加工業(yè)、掃描。