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晶圓校準(zhǔn)器不受晶圓材質(zhì)(新產(chǎn)品【SAL3000HV系列】全自動(dòng)調(diào)整功能對(duì)應(yīng)版本)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京銳潔機(jī)器人科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)SAL3000HV
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/12/19 17:12:33
  • 訪問(wèn)次數(shù)140
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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北京銳潔機(jī)器人科技有限公司位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),是由留學(xué)歸國(guó)技術(shù)人員所創(chuàng)辦的高科技技術(shù)型企業(yè)?! 」竞诵募夹g(shù)人員擁有在國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體行業(yè)20年的實(shí)際從業(yè)經(jīng)驗(yàn),能夠設(shè)計(jì)可用于半導(dǎo)體設(shè)備的各種自動(dòng)化設(shè)備。公司當(dāng)前的主力產(chǎn)品為小尺寸晶圓自動(dòng)裝卸載系統(tǒng)以及日本潔凈機(jī)械手臂專業(yè)廠家JEL生產(chǎn)的各種潔凈機(jī)械手臂等?! 」咀灾鳘?dú)立研發(fā)的小尺寸晶圓自動(dòng)裝卸載系統(tǒng)具有占地面積小、自動(dòng)化程度高的特點(diǎn),能夠有效的提高產(chǎn)線效率,降低生產(chǎn)成本; JEL公司生產(chǎn)的各種潔凈機(jī)械手臂具有潔凈度高、性價(jià)比好、穩(wěn)定性強(qiáng)的特點(diǎn),能夠滿足中國(guó)客戶需求,適合當(dāng)前的中國(guó)市場(chǎng)。  作為日本JEL公司在中國(guó)地區(qū)的合作伙伴,我公司和JEL公司將持續(xù)不斷的為中國(guó)市場(chǎng)提供專業(yè)、高性價(jià)比的產(chǎn)品以及優(yōu)質(zhì)、快捷的服務(wù)。
潔凈機(jī)械手臂
適用于2, 3寸, 100-300 mm晶圓, 可適用于多種晶圓的新型Aligner。全自動(dòng)調(diào)整功能軟件【JEL ALIGN TOOL】能夠完成多種不同用途晶圓的校準(zhǔn)功能。
晶圓校準(zhǔn)器不受晶圓材質(zhì)(新產(chǎn)品【SAL3000HV系列】全自動(dòng)調(diào)整功能對(duì)應(yīng)版本) 產(chǎn)品信息
特點(diǎn)

    JEL研發(fā)的可對(duì)應(yīng)多種類(lèi)型晶圓的新型Aligner【SAL3000HV系列】全自動(dòng)對(duì)應(yīng)版本。
    2016年12月14日之后出廠的校準(zhǔn)器產(chǎn)品都配有校準(zhǔn)工具軟件。
    *詳細(xì)情報(bào) 【JEL ALIGN TOOL】軟件.

    使用了新技術(shù)的可用于多種材質(zhì)晶圓的新產(chǎn)品

  • 可適用于硅片,帶BG膠帶(乳白色)的硅片,透明,半透明晶圓等不同材質(zhì)晶圓的位置校準(zhǔn)
  • 使用自主研發(fā)的圖像識(shí)別傳感器,采用了控制器和電機(jī)驅(qū)動(dòng)器集成到設(shè)備本體內(nèi)部的一體化設(shè)計(jì)
  • 可以根據(jù)晶圓尺寸,材質(zhì)更改Spindle的直徑,形狀和材質(zhì)可以使用伯努利吸附方式
  • 控制方式:串口RS232C或者并口光學(xué)I/O口
  • 不符合SEMI規(guī)格的缺口,缺邊形狀也可以提供定制設(shè)計(jì)
  • 能夠?yàn)镾pindle增加Z軸以滿足對(duì)晶圓進(jìn)行升降的需求
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例

PE-CVD設(shè)備;AOI設(shè)備

規(guī)格
被搬運(yùn)物 SEMI規(guī)格 晶圓(透明, 半透明, 硅片晶圓)
(其他可根據(jù)特殊晶圓的形狀,材質(zhì)為客戶提供靈活的定制設(shè)計(jì))
2, 3寸, 100-150 mm (SAL3262HV)
100-200 mm (SAL3482HV)
200-300 mm (SAL38C3HV)
位置精度 晶圓中心:±0.1 mm以內(nèi)
晶圓缺邊(缺口):±0.1度以內(nèi)
位置確定所需時(shí)間 3秒(不包括晶圓的取放時(shí)間)
傳感器 LED燈照明+圖像識(shí)別傳感器的方式對(duì)晶圓邊緣進(jìn)行檢測(cè)
位置校正范圍 半徑4mm以內(nèi)
晶圓吸附方式 真空吸附式
潔凈度 ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2(驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下)
質(zhì)量 大約10 kg
廠務(wù) 電源:DC24V±10% 3A 真空:-53 kPa以上

測(cè)試機(jī)型:SAL3000HV系列

關(guān)鍵詞:傳感器 控制器
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