MODEL 3200系列是新型質(zhì)量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產(chǎn)品，已在半導體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領(lǐng)域得到驗證。
它是一種適用于新Cofflock標準的高性能型號。
- 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現(xiàn)高精度，高速響應(yīng)
- 采用常閉閥門，方向操作安全
- 采用隔膜閥，減少死體積
- F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項）
- 低壓差兼容燃氣控制（LP選項）
標準規(guī)格
| 流量范圍 （N2轉(zhuǎn)換20°C / 1 ATM） | 1SCCM~20SLM（任意條件選擇） | |
|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | |
| 閥門方法 | 比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉） | |
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | |
| 響應(yīng)速度 | 1秒內(nèi)（±2％FS內(nèi)） | |
| 準確性 | ±1％FS（15~35°C） | |
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | |
| 操作壓差范圍 | F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G） | ||
| 選項：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造 | ||
| 可工作壓力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐壓 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允許周圍溫度 | 0~50℃ | |
| 允許環(huán)境濕度 | 10~90%RH（無結(jié)露） | |
| 氣體接觸材料 | 車身SUS316L | |
| 隔膜SUS316 | ||
| 閥座PTFE | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） | |
| 流量設(shè)定 輸入信號 | 0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上） | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | |
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA | |
| 配件（車身尺寸） | 標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | |
| 重量 | 約1000g | |
（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應(yīng)性等）是N2或空氣轉(zhuǎn)換中的規(guī)格。
另外，生產(chǎn)規(guī)格條件是初級側(cè)小于300kPa，次級側(cè)向大氣開放。
有關(guān)壓力條件，請另行咨詢。
尺寸圖
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