前置掛載安裝 2" 空氣軸承主軸,60krpm時(shí)2.4KW。直流無(wú)刷電機(jī),閉環(huán)速度控制。兼容 2"-3" 輪轂和無(wú)輪轂刀片。覆蓋 12" 的圓形產(chǎn)品、12" x 9" 方形基板帶框架或 12" x 12" 卡盤(不帶框架)。
系統(tǒng)配有閉環(huán)轉(zhuǎn)向臺(tái),針對(duì)大面板和多面板進(jìn)行優(yōu)化,例如:
? 12"和8"硅晶圓? PCB、QFN和BGA面板
? 高亮LED封裝
? SAW過濾器
系統(tǒng)規(guī)格:
大面積系統(tǒng)配置:300mm x 300mm
刀片尺寸:2"-3"
主軸:空氣軸承,直流無(wú)刷,60 krpm/2.4 kW
大功率2.4kW主軸(可選件)
分度軸(y)
驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配步進(jìn)電機(jī)
控制:線性編碼器
分辨率: 0.2 µm
累積精度: 1.5 µm
分度精度: 1.0 µm
傳送軸(X)
氣動(dòng)滑塊
驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配直流無(wú)刷電機(jī)
傳送速度:高達(dá) 600 mm/sec
切割深度軸(z)
驅(qū)動(dòng)裝置:滾珠軸承絲桿,配步進(jìn)電機(jī)
分辨率: 0.2 µm
精度: 2.0 µm
重復(fù)精度: 1.0 µm
行程: 50 mm
旋轉(zhuǎn)編碼器
Z線性編碼器 - 可選件
Z間隙高達(dá)3" - 可選
旋轉(zhuǎn)軸 (?)
驅(qū)動(dòng):閉環(huán)、直接驅(qū)動(dòng)、直流無(wú)刷
精度: 4 arc-sec
重復(fù)精度: 4 arc-sec
行程: 350 deg.
視覺系統(tǒng)
數(shù)碼攝像頭、Fire-Wire技術(shù)、高亮LED照明(直射和斜射)
x55-x210或x35-x140(可選)連續(xù)數(shù)字變焦。
設(shè)施
電氣:200-240VAC,50/60Hz,單相
氣源: 260 L/min @ 5.5 bar
主軸冷卻水:1.1 L/min廠務(wù)端用水
切割用水:3L/min
尺寸(WXDXH)
965×1300×1600 mm
重量: 900 kg




















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