高效的緊湊型清洗裝置,為您的流程提供支持
ADT 977晶圓清洗機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于在切割后清潔工件。
系統(tǒng)有三種基本配置:
? WCS-977:圓形晶片,8"
? WCS-97LA:圓形晶片,12"
系統(tǒng)亮點(diǎn):
? 霧化清潔? 自動蓋閉合
? 直觀控制面板
? 過程監(jiān)控
? 緊湊型設(shè)計(jì)
? 堅(jiān)固,無振動
? 環(huán)保
? 選項(xiàng):
? 內(nèi)置排霧裝置
? 二氧化碳注入
? 定制卡盤
? 清潔添加





















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