
產(chǎn)品特點(diǎn)
v 雙等離子清洗源
v 一機(jī)多用
v 高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40(CF40) |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源,射頻功率5-150W可調(diào), |
遠(yuǎn)程等離子源,自動(dòng)匹配器 | |
氣體控制 | 標(biāo)配單路質(zhì)量流量計(jì)(MFC)可選雙路。50毫升/分,自動(dòng)控制氣體流量,不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃獾榷喾N清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國(guó)MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì),測(cè)量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動(dòng)操作界面 |
電源/功率 | 220V,50/60Hz,300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮?dú)狻錃獍l(fā)生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保,終身維護(hù) |


















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