1、主要特點

•  自主閉環(huán)可控生產(chǎn)SOI敏感芯片和器件

•  無液、無膠、無引線“三無”熱熔封魯棒結(jié)構(gòu)

•  小尺度、固有頻率高，兼容動、靜兩態(tài)壓力測量

•  壓力類型齊全，壓力量程覆蓋范圍寬

•  適應(yīng)發(fā)動機(jī)、風(fēng)洞等高寬溫區(qū)苛刻環(huán)境絕緣氣、液體動態(tài)壓力的“原位”或“亞原位”測量

                    

2、 主要性能技術(shù)指標(biāo)

序號	項目	規(guī)格指標(biāo)		備注
1	壓力類型	絕壓、密封表壓	差壓	1*
2	基準(zhǔn)壓力量程	100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、6MPa、10Mpa、20MPa、30MPa	100kPa、200kPa、300kPa、600kPa、1MPa、2MPa、3MPa、 6MPa、10MPa	2*
3	量程過載能力	≥2倍基準(zhǔn)量程（≤10MPa）； ≥1. 5倍基準(zhǔn)量程（＞10MPa）； ≥1. 25倍基準(zhǔn)量程（≥60MPa）
4	被測壓力介質(zhì)	與金屬、單晶硅兼容的非腐蝕性、絕緣氣體和液體		3*
5	激勵電源	12±4VDC或 24±4VDC		2*
6	功率	≤0.5W
7	輸出阻抗	200Ω（典型值）
8	輸出信號模式	0.5～5VDC		2*、3*、4*
9	準(zhǔn)確度	≤ ±0.25%FS（典型值）		3*、4*
10	靈敏度對稱性	≤ ±0.1%FS（差壓）		1*、3*、4*
11	固有頻率	＞100kHz
12	工作溫度范圍	-55℃～+240℃，-55℃～+400℃，-55℃～+550℃		5*、1*
13	補償溫度范圍	25℃～+450℃
14	熱零點漂移	≤± 1%FS/55℃		6*
15	熱靈敏度漂移	≤±1%F.S /55℃		6*
16	絕緣電阻	>100MW		3*、7*
	短期穩(wěn)定性	≤±0.05%FS/8h		3*
17	長期穩(wěn)定性	≤±0.1%FS/年		3*
18	電氣連接形式	多芯航空接插件
19	測量接口形式	外螺紋		8*

 注：1^*. 差壓為雙壓力敏感器件，                               2^*. 可用戶定制；

        3^*. 恒溫25℃；                                                  4^*. 非線性算法為最小二乘法；                    

               5^*.;接插件和放大器工作溫度-55℃～+125℃；   6^*. 25～80℃；

               7^*. 100VDC；                                                   8^*. 差壓為共面外螺紋接口。

注：可提供定制服務(wù)，如有需求請與營銷人員聯(lián)系。