產(chǎn)品介紹：

1）控制系統(tǒng)由PLC觸摸屏構(gòu)成，故障率低，可靠性強，操作簡單，易于維護。

2）傳動方式通過皮帶傳片（86式），手臂傳片（88式）。

3）主軸使用高速伺服電機，帶數(shù)字顯示，精確控制轉(zhuǎn)速。

4）噴淋顯影兩路液罐，一路氮氣。也可由客戶工藝配置液路和氣路。

                 轉(zhuǎn)速                       6000RPM

                 轉(zhuǎn)速精準度                    ≤1-4%RPM

     勻膠     滴膠手臂控制                  步進馬達       

                 滴膠頭位置精準               ≤0.2mm

該設(shè)備為全自動上下料勻膠設(shè)備，主要應(yīng)用于3-6寸晶圓噴淋顯影定影工藝，采用標準片盒收放片，自動運行。該設(shè)備為雙軌道形式。