共聚焦三維表面輪廓儀特點(diǎn)
輪廓儀具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率,附有5百萬(wàn)自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī), 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌測(cè)量的理想配置。
項(xiàng) 目 簡(jiǎn) 述 | 參數(shù)說(shuō)明 |
共聚焦三維表面輪廓儀 | ●可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù)。 ●具有光學(xué)形貌上超高的橫向分辨率,附有5百萬(wàn)自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī), 空間下樣可調(diào)至0.05um,是表面特征以及形貌測(cè)量的理想配置。 ●在測(cè)量表面粗糙度/表面反射率上無(wú)限制 ●應(yīng)用于透明層/薄膜。 ●兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。 ●長(zhǎng)距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測(cè)量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。 高穩(wěn)定性。 |




















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