渦輪分子泵掃描電鏡 SEM 抽真空
上海伯東德國 Pfeiffer Hipace Plus 系列渦輪分子泵廣泛集成在掃描電子顯微鏡 SEM 設(shè)備中.
掃描電子顯微鏡 SEM, 簡稱掃描電鏡原理是利用電子束掃描物體表面實現(xiàn)成像. 空氣的存在會使的電子束變型, 影響掃描效果,因此要抽真空, 高效的渦輪分子泵有利于保持樣品室的清潔度; 電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 時需要在真空環(huán)境下, 平時還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個真空室.
HiPace Plus 系列渦輪分子泵是為掃描電子顯微鏡 ( 掃描電鏡 SEM ) 和質(zhì)譜行業(yè)量身定做的產(chǎn)品, 分子泵低振動和低磁場設(shè)計, 廣泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本電子 Jeol 等分析儀器設(shè)備里.
Pfeiffer Hipace Plus 渦輪分子泵目前在售型號 Hipace 300 Plus 和 Hipace 700 Plus,
以 Hipace 300 舉例,主要技術(shù)參數(shù)如下:
| 型號 | 渦輪分子泵 HiPace 300 | 渦輪分子泵 HiPace 300 Plus | |||||
| 允許環(huán)境磁場 | ≤ 5.5 mT | ≤ 5.5 mT | ≤ 5.5 mT | ≤ 3 mT | ≤ 3 mT | ≤ 3 mT | |
| 允許磁場 | 5.5 mT | 5.5 mT | 5.5 mT | 5.5 mT | 5.5 mT | 5.5 mT | |
| 噪音 | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | ≤50 dB(A) | |
| 安裝方式 | 任意位置安裝 | 垂直,法蘭向上 | |||||
| 進(jìn)氣口 | DN 100 ISO-K | DN 100 CF-F | DN 100 ISO-F | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | DN 100 ISO-K | |
| 極限真空度 | <1X10-7 hPa | < 5X10-10 hPa | < 1X10-7 hPa | <1X10-7 hPa | < 5X10-10 hPa | < 1X10-7 hPa | |
| Ar 抽速 | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | |
| H2 抽速 | 220 l/s | 220 l/s | 220 l/s | 220 l/s | 220 l/s | 220 l/s | |
| He 抽速 | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | 255 l/s | |
| N2 抽速 | 260 l/s | 260 l/s | 260 l/s | 260 l/s | 260 l/s | 260 l/s | |
| Ar 壓縮比 | > 1X1011 | ||||||
| H2 壓縮比 | 9X105 | ||||||
| He 壓縮比 | > 1X108 | ||||||
| N2 壓縮比 | > 1X1011 | ||||||
| 分子泵全速時 Ar 氣體流量 | 7 hPa l/s | 7 hPa l/s | 7 hPa l/s | 2 hPa l/s | 2 hPa l/s | 2 hPa l/s | |
| 分子泵全速時 He 氣體流量 | 10 hPa l/s | 10 hPa l/s | 10 hPa l/s | 8 hPa l/s | 8 hPa l/s | 8 hPa l/s | |
| 分子泵全速時 H2 氣體流量 | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | > 14 hPa l/s | |
| 分子泵全速時 N2 氣體流量 | 14 hPa l/s | 14 hPa l/s | 14 hPa l/s | 5 hPa l/s | 5 hPa l/s | 5 hPa l/s | |
| Ar 前級真空 | 25 hPa | 25 hPa | 25 hPa | 15 hPa | 15 hPa | 15 hPa | |
| H2 前級真空 | 8,5 hPa | 8,5 hPa | 8,5 hPa | 8,5 hPa | 8,5 hPa | 8,5 hPa | |
| He 前級真空 | 20 hPa | 20 hPa | 20 hPa | 15 hPa | 15 hPa | 15 hPa | |
| N2 前級真空 | 20 hPa | 20 hPa | 20 hPa | 15 hPa | 15 hPa | 15 hPa | |
Pfeiffer 渦輪分子泵抽速范圍 10 至 2700 L/S, 轉(zhuǎn)速 90,000 rpm, 極限真空 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵運(yùn)行時間可以達(dá)到 100,000 小時! 普發(fā)分子泵提供復(fù)合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿足不同應(yīng)用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 更多分子泵典型應(yīng)用 >>
鑒于客戶信息保密, 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉女士 中國臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 109 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
ec ec.tw
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!






















左贡县|
自贡市|
云林县|
和龙市|
阳城县|
广德县|
获嘉县|
九台市|
阳城县|
昌宁县|
武宁县|
嘉兴市|
洛阳市|
东平县|
江川县|
兰西县|
福贡县|
青龙|
上栗县|
长武县|
明星|
琼海市|
黄陵县|
花莲县|
康乐县|
宜兴市|
盘锦市|
马鞍山市|
柞水县|
正镶白旗|
积石山|
汝南县|
嫩江县|
禄丰县|
万源市|
宁波市|
静海县|
凤阳县|
九寨沟县|
河源市|
兰州市|