用于IC行業(yè)FOUP自動(dòng)化搬送、存儲(chǔ),實(shí)現(xiàn)晶圓在曝光、刻蝕等核心工藝之間流轉(zhuǎn)。優(yōu)化結(jié)構(gòu)及氣流流場(chǎng)設(shè)計(jì),可使?jié)崈舳冗_(dá)到ISO Class4等級(jí)要求;帶有豐富的安全設(shè)計(jì)和靈敏的碰撞保護(hù)功能,有效保護(hù)FOUP、晶圓、人身安全, 提高了產(chǎn)品的安全等級(jí),減少不必要的損失;全新的系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)邏輯規(guī)劃,提高產(chǎn)品搬送效率;標(biāo)準(zhǔn)的SEMI軟件接口,可以方便對(duì)接面板廠MCS系統(tǒng),可實(shí)時(shí)上報(bào)系統(tǒng)各種狀態(tài)數(shù)據(jù),實(shí)現(xiàn)工廠智能管理;可以根據(jù)客戶應(yīng)用的特殊要求,定制設(shè)備功能及尺寸。
參數(shù):
設(shè)備 | IC Stocker | |
運(yùn)動(dòng)軸 | 行走 / 提升/ 旋轉(zhuǎn)/ 叉取 | |
有效負(fù)載 | 10kg | |
控制 | PLC+PC | |
電源供應(yīng) | VAC 220V±10% | |
電機(jī) | 伺服電機(jī) | |
行走 | 驅(qū)動(dòng) | 齒輪齒條+減速機(jī)+電機(jī) |
速度 | 2.2m/s | |
提升 | 驅(qū)動(dòng) | 電機(jī)減速機(jī)+同步帶+帶輪 |
速度 | 1.75m/s | |
旋轉(zhuǎn) | 驅(qū)動(dòng) | 電機(jī)+同步帶+減速機(jī) |
速度 | 120°/sec | |
叉取 | 驅(qū)動(dòng) | 電機(jī)減速機(jī)+同步帶+帶輪 |
上/下料時(shí)間 | 4.8s | |
叉取FOUP精度 | ±0.5mm | |




















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