真空式等離子處理系統(tǒng)CRF-VPO-MC-6L
名稱(Name)
真空式等離子處理系統(tǒng)
型號(Model)
CRF-VPO-MC-6L
控制系統(tǒng)(Control system)
PLC+觸摸屏
電源(Power supply)
380V/AC,50/60Hz,12.5kw
中頻電源功率(MF Power)
2000W/40kHz
容量(Volume)
235L(Option)
層數(shù)(Electrode of plies)
6(Option)
有效處理面積(Area)
500(L)*500(W)(Option)
氣體通道(Gas)
兩路工作氣體可選: Ar、N2、CF4、O2
產(chǎn)品特點:處理空間大,提升處理產(chǎn)能,采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),有效控制設(shè)備運行。
可按照客戶要求定制設(shè)備腔體容量和層數(shù),滿足客戶的需求。
保養(yǎng)維修成本低,便于客戶成本控制。
高精度,快響應(yīng),良好的操控性和兼容性,*的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。
應(yīng)用范圍:主要適用于生物醫(yī)療行業(yè),印制線路板行業(yè),半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。




























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