el1202數(shù)字量端子*全新BECKHOFF倍福PLC*現(xiàn)貨大部分的半導(dǎo)體產(chǎn)品 – 例如，處理器和內(nèi)存 – 都是硅設(shè)
備，而現(xiàn)在，其它很多產(chǎn)品，包括發(fā)光二極管（LED）和微
波元器件，則是由其它半導(dǎo)體材料制成，比如氮化鎵和磷化在使用這些特殊半導(dǎo)體材料制造產(chǎn)品時(shí)的一個(gè)關(guān)鍵工藝
就是空白晶圓的生產(chǎn)，實(shí)際上，它是一種制造成品設(shè)備的原
材料。

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開發(fā)、生產(chǎn)并供應(yīng) MOCVD 反應(yīng)器來生產(chǎn)這些晶圓
是 Thomas Swan Scientific 公司的主營業(yè)務(wù)，而其母公司
Aixtron AG 則是的化學(xué)氣相淀積設(shè)備供應(yīng)商。
MOCVD 的工藝原理并非深?yuàn)W難懂。對于每個(gè)待制造的晶圓（一種基片）通常是由藍(lán)寶石或硅制成，放置在反應(yīng)器中el1202數(shù)字量端子*全新BECKHOFF倍福PLC*。
然后，各種氣體 － 有些含有所需半導(dǎo)體材料 － 被吸入到反應(yīng)器室內(nèi)。如果氣體的溫度和壓力以及基片的時(shí)間 / 溫
度分布能夠受到精確控制，超純半導(dǎo)體材料就能夠沉積在基
片表面形成一層薄的金屬膜，然后制成成品空白晶圓MOCVD 的工藝原理并非深?yuàn)W難懂。對于每個(gè)待制造的晶圓
（一種基片）通常是由藍(lán)寶石或硅制成，放置在反應(yīng)器中。然后，各種氣體 － 有些含有所需半導(dǎo)體材料 － 被吸入到
反應(yīng)器室內(nèi)。如果氣體的溫度和壓力以及基片的時(shí)間 / 溫度分布能夠受到精確控制，超純半導(dǎo)體材料就能夠沉積在基**
片表面形成一層薄的金屬膜，然后制成成品空白晶圓。雖然工藝原理可能簡單易懂，但在生產(chǎn)設(shè)備的可靠部件中實(shí)
施這些方案卻是一個(gè)非常有挑戰(zhàn)性的任務(wù)。

創(chuàng)新設(shè)計(jì)是*的一部分，Thomas Swan *的噴淋領(lǐng)頭式氣體噴嘴
設(shè)計(jì)方案就的例證。顧名思義，它看起來就像是一個(gè)
老式的扁平噴嘴，表面布有很多小孔。這種噴嘴用于將氣體導(dǎo)入至反應(yīng)器，它的這種布置可確保氣體均勻分布在貼近噴
嘴處的基片表面。由于該噴嘴有獨(dú)立的通道，可用于兩種氣體，因此，它也可確保在用一種以上的氣體時(shí)，僅在進(jìn)入反
應(yīng)器的時(shí)刻才混合。這一點(diǎn)非常重要，因?yàn)橛行怏w混合物反應(yīng)形成的固體化合物可能會堵塞其它類型的輸送統(tǒng)*。
可靈活應(yīng)對各種需求變化的控制系統(tǒng)創(chuàng)新的工藝設(shè)計(jì)只能應(yīng)對生產(chǎn)可靠、有效的 MOCVD 反應(yīng)
器過程中的部分挑戰(zhàn)。精確、可靠的控制也至關(guān)重要，考慮到半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展如此迅猛，其市場需求也會不斷變化，理想的情況就是，所選用的控制系統(tǒng)必須能夠?yàn)槲磥淼陌l(fā)展
提供保證。